潔凈實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)全密閉的環(huán)境，通過(guò)空調(diào)送、回風(fēng)系統(tǒng)的初、中、高效過(guò)濾器，使室內(nèi)環(huán)境空氣不斷循環(huán)過(guò)濾，以保證空氣懸浮粒子受控到一定濃度。潔凈實(shí)驗(yàn)室最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中檢測(cè)、科研。所以潔凈實(shí)驗(yàn)室通常也叫超凈實(shí)驗(yàn)室，潔凈實(shí)驗(yàn)室，凈化實(shí)驗(yàn)室等。

一、潔凈實(shí)驗(yàn)室氣流和凈化系統(tǒng)介紹

1、實(shí)驗(yàn)室凈化系統(tǒng)描述：

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→ 回風(fēng)百葉窗→初效凈化….（重復(fù)以上過(guò)程）

2、潔凈實(shí)驗(yàn)室的氣流形式：

（1）單向流潔凈區(qū)（水平、垂直流向）；

（2）非單向流潔凈區(qū)；

（3）混合流潔凈區(qū)；

（4）環(huán)形/隔離裝置。

混合流潔凈區(qū)是ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)提出的，即把實(shí)際早已存在的非單向流潔凈室設(shè)置了局部的單向流的潔凈工作臺(tái)/層流罩對(duì)關(guān)鍵部位進(jìn)行“點(diǎn)”或“線”的保護(hù)，以減少單向流潔凈區(qū)的面積。

二、潔凈實(shí)驗(yàn)室凈化工程項(xiàng)目的主要控管項(xiàng)目

1、除去空氣中漂游之微塵粒子；

2、防止微塵粒子之產(chǎn)生；

3、控制溫度和濕度；

4、調(diào)節(jié)氣體壓力；

5、排除有害氣體；

6、確保結(jié)構(gòu)物與隔間氣密性；

7、防止靜電；

8、預(yù)防電磁干擾；

9、安全因素；

10、考慮節(jié)能。