凈化車間又稱潔凈室，它是污染控制的基礎。沒有凈化車間，就不可能批量生產污染敏感零件。那么，凈化車間又分為哪些部分呢？

凈化車間由五部分組成：

1.隔間

凈化車間隔室分為更衣室、千層區、百層區三部分。更衣室及千級區、千級區、百級區均設有空氣淋浴，凈化車間及室外均設有密碼箱。人員進入凈化車間時，必須先通過空氣淋浴室對人體攜帶的粉塵進行噴淋，減少人員帶入凈化車間的粉塵。分動箱用于噴霧降塵，達到降塵的效果。

2.空氣系統流程圖

系統采用新風空調箱+FFU系統

<1> 新風空調箱結構

<2> FFU：（fanfilter unit）指風扇和過濾器

在1000級區域采用高效空氣過濾器，過濾效率為99.997%。在100級過濾區采用ULPA，過濾效率為99.9995%。

3.水系統流程圖

冰水系統分為一次側和二次側

一次側冰水溫度為7-12度，供給空調箱和風機盤管；二次側冰水溫度為12-17度，供給干盤管系統。一次側冰水和二次側冰水是兩條不同的回路，通過板式換熱器連接

板式換熱器原理

干盤管：無冷凝盤管，由于凈化車間溫度為22℃，露點溫度約為12℃，7℃的冰水不能直接進入凈化車間，因此干盤管冰水溫度為12-14℃

4.控制系統（DDC）溫度：干盤管系統控制

濕度：空調箱通過感應信號控制三通閥的開度，調節空調箱盤管的進水量。

正壓：空調箱調節，根據靜壓感應信號，自動調節空調箱電機變頻器的頻率，從而調節進入房間的新鮮空氣。

5.其他系統

不僅是空調系統，還有真空、氣壓、氮氣、純水、廢水、二氧化碳系統、工藝排氣系統

①本試驗的目的是測定單向流凈化車間工作區的平均氣流流量及其均勻性。

②系統或房間的風量檢測。

③室內清潔度檢測。潔凈度的檢測是確定潔凈環境的空氣潔凈度水平，可用粒子計數器進行檢測。

④自凈時間檢測。通過測定自凈時間，找出了恢復潔凈室原有清潔度的能力。

⑤氣流模式檢測。

⑥噪聲檢測。

⑦照明檢測。照度檢測的目的是確定潔凈室的照度水平和均勻性。

⑧振動檢測。振動檢測的目的是確定凈化車間的振幅。

⑨溫濕度檢測。溫濕度檢測的目的是將溫濕度調節到一定限度。其內容包括凈化車間送風溫度檢測、代表性測點氣溫檢測、凈化車間中心點氣溫檢測、敏感元件空氣度檢測、室內空氣相對溫度檢測、溫度檢測回風溫度。

⑩總風量和新風量檢測。