現(xiàn)今不少電子高新科技領(lǐng)域?qū)呻娐返男枨罅渴执螅瑫r(shí)對大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)生產(chǎn)、封裝環(huán)節(jié)要求越來越高。這也意味著對電子潔凈室的要求越來越高。那么，在日常工作中，容易對電子集成電路廠潔凈室造成污染的源頭有哪些呢？

一、電磁噪聲-污染源之一

電子集成電路潔凈室是通過大電流氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生電磁噪聲的，電磁噪聲會影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度，其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、振動-污染源之一

潔凈室設(shè)備內(nèi)的真空泵電機(jī)工作時(shí)會把振動經(jīng)地板傳遞到微細(xì)加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上，進(jìn)而影響它們的工作精度。潔凈室應(yīng)在振源和怕受振動的設(shè)備下安裝空氣彈簧減震器，以達(dá)到衰減振動的目的。

三、生銹-污染源之一

當(dāng)潔凈室酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時(shí)，酸霧氣擴(kuò)散于潔凈室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設(shè)備的金屬部分，造成污染；潔凈室不銹鋼裸露在含氯氣的空氣中，也會受腐蝕生銹。處理酸的有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩，保證足夠的局部排風(fēng)量。

電子集成電路廠潔凈室的污染源除了上述幾點(diǎn)，還包括潔凈室器材和設(shè)備的搬出和大修施工時(shí)造成的污染。這些污染不只是由于人的移動造成的，設(shè)備移動也會揚(yáng)起已落在地板表面和器材上的塵埃。尤其是更換設(shè)備時(shí)養(yǎng)護(hù)地板，搬進(jìn)小工具或很多搬運(yùn)工進(jìn)出潔凈室，都會導(dǎo)致室內(nèi)的懸浮塵埃量比平時(shí)多。

對于電子集成電路廠潔凈室的污染源你們還有什么看法呢？