無塵室，又叫無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵室內生產制造設備的選擇、布置與保養以及防塵措施、實現自動化與無塵化的注意事項。

1、生產設備之選擇、布置與保養：

1）規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。

2）當設備維修時易產生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。

3）真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。

4）要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。

5）應加強注意室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。

6）規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。

7）對于施工或維修之廠商，應告知進出無塵室之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。

8）應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。

9）生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。

10）設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

11）應有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。

12）生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。

2、生產設備之防塵措施：

1）在操作時，盡量減少接觸零件或產品。

2）各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。

3）為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。

4）不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。

5）磨損、切削均為發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。

6）易產生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。

3、自動化與無塵化：

1）建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定，無塵室作業人員作業規則，無塵室管理規則等。

2）設立自動化傳送系統，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。